Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности (по материалам диссертации на соискание степени кандидата наук).
Осипова А.А.
Аспирант Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого
11 апреля • четверг • 16:00 • Конференц-зал СЛК (к. 627)
Формат: 30 минут выступления и далее вопросы/ответы
Приглашаем Вас и Ваших коллег принять участие в семинаре
